BS-4020A Trinocular Industrial Wafer Inspection Microscope
परिचय
BS-4020A औद्योगिक निरीक्षण माइक्रोस्कोप विशेष रूपमा विभिन्न आकारको वेफर्स र ठूलो PCB को निरीक्षणको लागि डिजाइन गरिएको छ। यो माइक्रोस्कोपले भरपर्दो, सहज र सटीक अवलोकन अनुभव प्रदान गर्न सक्छ। पूर्ण रूपमा प्रदर्शन गरिएको संरचना, उच्च परिभाषा अप्टिकल प्रणाली र एर्गोनोमिकल अपरेटिङ सिस्टमको साथ, BS-4020 ले व्यावसायिक विश्लेषणलाई महसुस गर्छ र वेफर्स, FPD, सर्किट प्याकेज, PCB, सामग्री विज्ञान, सटीक कास्टिङ, मेटालोसेरामिक्स, सटीक मोल्ड, अनुसन्धान र निरीक्षणको विभिन्न आवश्यकताहरू पूरा गर्दछ। अर्धचालक र इलेक्ट्रोनिक्स आदि
1. उत्तम माइक्रोस्कोपिक रोशनी प्रणाली।
माइक्रोस्कोप कोहलर रोशनीको साथ आउँदछ, हेर्ने क्षेत्रमा उज्यालो र एकसमान रोशनी प्रदान गर्दछ। इन्फिनिटी अप्टिकल प्रणाली NIS45, उच्च NA र LWD उद्देश्यसँग समन्वय गरिएको, उत्तम माइक्रोस्कोपिक इमेजिङ प्रदान गर्न सकिन्छ।
सुविधाहरू
परावर्तित रोशनीको उज्यालो क्षेत्र
BS-4020A ले उत्कृष्ट इन्फिनिटी अप्टिकल प्रणाली अपनाएको छ। हेर्ने क्षेत्र एकसमान, उज्यालो र उच्च रंग प्रजनन डिग्री संग छ। यो अपारदर्शी अर्धचालक नमूनाहरू अवलोकन गर्न उपयुक्त छ।
अँध्यारो क्षेत्र
यसले डार्क फिल्ड अवलोकनमा उच्च-परिभाषा छविहरू महसुस गर्न सक्छ र राम्रो स्क्र्याचहरू जस्ता त्रुटिहरूमा उच्च संवेदनशीलता निरीक्षण गर्न सक्छ। यो उच्च माग संग नमूना को सतह निरीक्षण को लागी उपयुक्त छ।
प्रसारित रोशनीको उज्यालो क्षेत्र
पारदर्शी नमूनाहरूको लागि, जस्तै FPD र अप्टिकल तत्वहरू, उज्यालो क्षेत्र अवलोकन प्रसारण प्रकाशको कन्डेन्सर द्वारा महसुस गर्न सकिन्छ। यसलाई DIC, साधारण ध्रुवीकरण र अन्य सामानहरूसँग पनि प्रयोग गर्न सकिन्छ।
सरल ध्रुवीकरण
यो अवलोकन विधि धातुकर्म ऊतक, खनिज, एलसीडी र अर्धचालक सामग्रीहरू जस्तै birefringence नमूनाहरूको लागि उपयुक्त छ।
परावर्तित रोशनी DIC
यो विधि सटीक मोल्ड मा साना भिन्नताहरू अवलोकन गर्न प्रयोग गरिन्छ। अवलोकन प्रविधिले सानो उचाइ भिन्नता देखाउन सक्छ जुन एम्बोसमेन्ट र त्रि-आयामी छविहरूको रूपमा सामान्य अवलोकन तरिकामा देख्न सकिँदैन।
२. उच्च गुणस्तरको सेमी-एपीओ र एपीओ उज्यालो क्षेत्र र गाढा क्षेत्र उद्देश्यहरू।
मल्टिलेयर कोटिंग टेक्नोलोजी अपनाएर, NIS45 शृङ्खलाको सेमी-एपीओ र एपीओ उद्देश्य लेन्सले गोलाकार विकृति र पराबैंगनीबाट नजिकको इन्फ्रारेडमा क्रोमेटिक विचलनलाई क्षतिपूर्ति दिन सक्छ। छविहरूको तीव्रता, रिजोल्युसन र रंग प्रतिपादन ग्यारेन्टी गर्न सकिन्छ। विभिन्न म्याग्निफिकेसनका लागि उच्च-रिजोल्युसन र समतल छविको साथ छवि प्राप्त गर्न सकिन्छ।
3. अपरेटिङ प्यानल माइक्रोस्कोपको अगाडि छ, सञ्चालन गर्न सुविधाजनक।
मेकानिज्म कन्ट्रोल प्यानल माइक्रोस्कोपको अगाडि (अपरेटरको नजिक) स्थित छ, जसले नमूना अवलोकन गर्दा अपरेशनलाई छिटो र सजिलो बनाउँछ। र यसले लामो समयको अवलोकन र आन्दोलनको ठूलो दायरा द्वारा ल्याइएको फ्लोटिंग धुलोको कारणले गर्दा थकान कम गर्न सक्छ।
4. एर्गो टिल्टिङ ट्रिनोकुलर हेड हेड।
एर्गो टिल्टिङ हेडले अवलोकनलाई अझ सहज बनाउन सक्छ, जसले गर्दा लामो समयसम्म काम गर्ने मांसपेशीको तनाव र असुविधालाई कम गर्न सकिन्छ।
5. फोकस गर्ने संयन्त्र र कम हात स्थिति संग स्टेज को ठीक समायोजन ह्यान्डल।
फोकस गर्ने मेकानिज्म र स्टेजको राम्रो समायोजन ह्यान्डलले कम ह्यान्ड पोजिसन डिजाइनलाई अपनाउँछ, जुन एर्गोनोमिक डिजाइन अनुरूप हुन्छ। प्रयोगकर्ताहरूले सञ्चालन गर्दा हात उठाउन आवश्यक पर्दैन, जसले सहज अनुभवको सबैभन्दा ठूलो डिग्री दिन्छ।
6. स्टेजमा निर्मित क्लचिङ ह्यान्डल छ।
क्लचिङ ह्यान्डलले स्टेजको छिटो र ढिलो चाल मोड महसुस गर्न सक्छ र द्रुत रूपमा ठूलो-क्षेत्र नमूनाहरू पत्ता लगाउन सक्छ। चरणको राम्रो समायोजन ह्यान्डलको साथ सह-प्रयोग गर्दा नमूनाहरू छिटो र सही रूपमा पत्ता लगाउन अब गाह्रो हुनेछैन।
7. ओभरसाइज स्टेज (14"x 12") ठूलो वेफर्स र PCB को लागि प्रयोग गर्न सकिन्छ।
माइक्रोइलेक्ट्रोनिक्स र अर्धचालक नमूनाहरूको क्षेत्रहरू, विशेष गरी वेफर, ठूला हुन्छन्, त्यसैले साधारण मेटालोग्राफिक माइक्रोस्कोप चरणले तिनीहरूको अवलोकन आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्दैन। BS-4020A सँग ठूलो आवागमन दायराको साथ ठूलो स्टेज छ, र यो सुविधाजनक र सार्न सजिलो छ। त्यसैले यो ठूलो क्षेत्र औद्योगिक नमूनाहरूको सूक्ष्म अवलोकनको लागि एक आदर्श उपकरण हो।
8. 12” वेफर्स होल्डर माइक्रोस्कोपको साथ आउँछ।
12” वेफर र सानो आकारको वेफर यस माइक्रोस्कोपको साथ अवलोकन गर्न सकिन्छ, छिटो र राम्रो आन्दोलन स्टेज ह्यान्डलको साथ, यसले कार्य क्षमतामा धेरै सुधार गर्न सक्छ।
9. एन्टि-स्टेटिक सुरक्षा कभर धूलो कम गर्न सक्छ।
औद्योगिक नमूनाहरू तैरिरहेको धुलोबाट टाढा हुनुपर्छ, र थोरै धुलोले उत्पादनको गुणस्तर र परीक्षण परिणामहरूलाई असर गर्न सक्छ। BS-4020A मा एन्टी-स्टेटिक सुरक्षात्मक आवरणको ठूलो क्षेत्र छ, जसले तैरिरहेको धुलो र झर्ने धूलोबाट जोगाउन सक्छ ताकि नमूनाहरू सुरक्षित गर्न र परीक्षणको नतिजा अझ सटीक बनाउन सकिन्छ।
10. लामो कार्य दूरी र उच्च NA उद्देश्य।
सर्किट बोर्ड नमूनाहरूमा इलेक्ट्रोनिक कम्पोनेन्टहरू र अर्धचालकहरूको उचाइमा भिन्नता छ। तसर्थ, यस माइक्रोस्कोपमा लामो कार्य दूरी उद्देश्यहरू अपनाइएका छन्। यसैबीच, कलर प्रजननमा औद्योगिक नमूनाहरूको उच्च आवश्यकताहरू पूरा गर्न, मल्टिलेयर कोटिंग टेक्नोलोजी विकसित र वर्षौंमा सुधार गरिएको छ र BF&DF सेमी-एपीओ र उच्च NA भएको एपीओ उद्देश्य अपनाइन्छ, जसले नमूनाहरूको वास्तविक रंग पुनर्स्थापित गर्न सक्छ। ।
11. विभिन्न अवलोकन विधिहरूले विभिन्न परीक्षण आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छन्।
| रोशनी | उज्यालो फिल्ड | अँध्यारो क्षेत्र | DIC | फ्लोरोसेन्ट लाइट | ध्रुवीकृत प्रकाश |
| परावर्तित रोशनी | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| प्रसारित रोशनी | ○ | - | - | - | ○ |
आवेदन
BS-4020A औद्योगिक निरीक्षण माइक्रोस्कोप विभिन्न साइज वेफर्स र ठूलो PCB को निरीक्षण को लागी एक आदर्श उपकरण हो। यो माइक्रोस्कोप विश्वविद्यालयहरू, इलेक्ट्रोनिक्स र चिप्स कारखानाहरूमा वेफर्स, FPD, सर्किट प्याकेज, PCB, सामग्री विज्ञान, सटीक कास्टिङ, मेटालोसेरामिक्स, सटीक मोल्ड, सेमीकन्डक्टर र इलेक्ट्रोनिक्स आदिको अनुसन्धान र निरीक्षणको लागि प्रयोग गर्न सकिन्छ।
विशिष्टता
| वस्तु | विशिष्टता | BS-4020A | BS-4020B | |
| अप्टिकल प्रणाली | NIS45 अनन्त रंग सही अप्टिकल प्रणाली (ट्यूब लम्बाइ: 200mm) | ● | ● | |
| हेड हेर्दै | एर्गो टिल्टिङ ट्राइनोकुलर हेड, समायोज्य ०-३५° झुकाव, इन्टरप्युपिलरी दूरी ४७ मिमी-७८ मिमी; विभाजन अनुपात आईपीस: त्रिनोकुलर = 100: 0 वा 20: 80 वा 0: 100 | ● | ● | |
| Seidentopf Trinocular हेड, 30° झुकाव, इन्टरप्युपिलरी दूरी: 47mm-78mm; विभाजन अनुपात आईपीस: त्रिनोकुलर = 100: 0 वा 20: 80 वा 0: 100 | ○ | ○ | ||
| Seidentopf द्विनेत्री टाउको, 30° झुकाव, इन्टरप्युपिलरी दूरी: 47mm-78mm | ○ | ○ | ||
| आईपीस | सुपर वाइड फिल्ड प्लान आईपिस SW10X/25mm, diopter समायोज्य | ● | ● | |
| सुपर वाइड फिल्ड प्लान आईपीस SW10X/22mm, diopter समायोज्य | ○ | ○ | ||
| अतिरिक्त चौडा क्षेत्र योजना आईपीस EW12.5X/17.5mm, diopter समायोज्य | ○ | ○ | ||
| वाइड फिल्ड प्लान आईपिस WF15X/16mm, diopter समायोज्य | ○ | ○ | ||
| वाइड फिल्ड प्लान आईपिस WF20X/12mm, diopter समायोज्य | ○ | ○ | ||
| उद्देश्य | NIS45 अनन्त LWD योजना सेमी-एपीओ उद्देश्य (BF & DF), M26 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ● | ● |
| 10X/NA=0.3, WD=11mm | ● | ● | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ● | ● | ||
| NIS45 Infinite LWD योजना APO उद्देश्य (BF & DF), M26 | ५०X/NA=0.8, WD=1.0mm | ● | ● | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ● | ● | ||
| NIS60 Infinite LWD योजना सेमी-एपीओ उद्देश्य (BF), M25 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ○ | ○ | |
| 10X/NA=0.3, WD=11mm | ○ | ○ | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ○ | ○ | ||
| NIS60 Infinite LWD योजना APO उद्देश्य (BF), M25 | ५०X/NA=0.8, WD=1.0mm | ○ | ○ | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ○ | ○ | ||
| नाकको टुक्रा | ब्याकवर्ड सेक्स्टपल नोजपीस (डीआईसी स्लट सहित) | ● | ● | |
| कन्डेनसर | LWD कन्डेनसर NA0.65 | ○ | ● | |
| प्रसारित रोशनी | 40W एलईडी पावर सप्लाई अप्टिकल फाइबर लाइट गाइडको साथ, तीव्रता समायोज्य | ○ | ● | |
| परावर्तित रोशनी | प्रतिबिम्बित प्रकाश 24V/100W हलोजन बत्ती, कोहलर रोशनी, 6 स्थिति बुर्ज संग | ● | ● | |
| 100W हलोजन बत्ती घर | ● | ● | ||
| 5W एलईडी बत्तीको साथ परावर्तित प्रकाश, कोहलर रोशनी, 6 स्थिति बुर्ज संग | ○ | ○ | ||
| BF1 उज्ज्वल क्षेत्र मोड्युल | ● | ● | ||
| BF2 उज्यालो क्षेत्र मोड्युल | ● | ● | ||
| DF गाढा क्षेत्र मोड्युल | ● | ● | ||
| बिल्ट-इन ND6, ND25 फिल्टर र रंग सुधार फिल्टर | ○ | ○ | ||
| ECO प्रकार्य | ECO बटनको साथ ECO प्रकार्य | ● | ● | |
| फोकस गर्दै | कम स्थिति समाक्षीय मोटे र राम्रो फोकस, ठीक विभाजन 1μm, मुभिङ दायरा 35mm | ● | ● | |
| स्टेज | क्लचिङ ह्यान्डलको साथ 3 तह मेकानिकल स्टेज, साइज 14"x12" (356mmx305mm); चलिरहेको दायरा 356mmX305mm; प्रसारित प्रकाशको लागि प्रकाश क्षेत्र: 356x284mm। | ● | ● | |
| वेफर होल्डर: 12" वेफर समात्न प्रयोग गर्न सकिन्छ | ● | ● | ||
| DIC किट | प्रतिबिम्बित रोशनीको लागि DIC किट (10X, 20X, 50X, 100X उद्देश्यका लागि प्रयोग गर्न सकिन्छ) | ○ | ○ | |
| ध्रुवीकरण किट | परावर्तित रोशनीको लागि पोलराइजर | ○ | ○ | |
| प्रतिबिम्बित रोशनीको लागि विश्लेषक, 0-360° घुमाउन योग्य | ○ | ○ | ||
| प्रसारित रोशनीको लागि पोलराइजर | ○ | ○ | ||
| प्रसारित रोशनीको लागि विश्लेषक | ○ | ○ | ||
| अन्य सहायक उपकरणहरू | 0.5X C-माउन्ट एडाप्टर | ○ | ○ | |
| 1X सी-माउन्ट एडाप्टर | ○ | ○ | ||
| धुलो कभर | ● | ● | ||
| पावर कर्ड | ● | ● | ||
| क्यालिब्रेसन स्लाइड ०.०१ मिमी | ○ | ○ | ||
| नमूना प्रेसर | ○ | ○ | ||
नोट: ● मानक पोशाक, ○ ऐच्छिक
नमूना छवि
आयाम
एकाइ: मिमी
प्रणाली रेखाचित्र
प्रमाणपत्र
रसद
